产品特征
● 可兼容处理200mm和300mm的notch和flat切口的硅片
● 可实现硅片的全自动传输与曝光
● 可实现外圈曝光、内环曝光、分段曝光、直线曝光等功能
● 配置大功率汞灯与性能优异的曝光镜头，硅片面照度高、机台曝光产率高
● 具备高可靠性，采用模块化的设备便于维护维修
● 具备客户定制化能力以满足不同客户的需求
主要技术参数
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型号 |
SWEE200/25 |
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硅片尺寸 |
200mm/300mm |