 ATR500 |
 APR500 |
产品特征
● 灵活性高
● 适用于高净化等级厂房
● 运载量大
● 操作简便
● 物料可追溯
● 安全性高
主要技术参数
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型号 |
ATR500 |
APR500 |
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运载容量 |
12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP |
2个12寸满载FOUP |
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引导方式 |
激光智能引导 |
激光智能引导 |
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移动速度 |
最高1.3 m/s（可配置） |
最高1.3 m/s（可配置） |