产品特征
● 配置丰富的成像照明系统
● 出色的残胶检测功能
● 智能检测分析
● 支持多种物料接口
● 离线软件
主要技术参数
| 型号 | SOI500 |
| 基底尺寸 | 150mm/ 200mm/ 300mm |
| 照明模式 | Dark field and bright field |
| 倍率 | 1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X |
| 工件台 |
X/Y/Rz axis, independent Z axis |
| 型号 | SOI600 |
| 硅片尺寸 | 200mm |
| 微观缺陷检查 | Multi point automatic photograph |
| 正面及边缘宏观缺陷检查 |
Rx, Ry flipping range: -35 degree~35 degree Rz Rotation range: 0 degree ~360 degree |
| 背面宏观缺陷检查 |
Rx flipping range: 0 degree ~180 degree |
| 宏观相机像素 | 2048×2048 |