 SSB500/40 |
 SSB500/50 |
产品特征
● 超大视场（33mm×53.5mm、44mm×44mm），实现高产率生产
● 支持翘曲片、键合片曝光
● 高精度套刻能力
● 高精度温度控制能力，实现高能量曝光条件下的稳定生产
● 多种双面对准装置，配备红外支持可见光直接测量
主要技术参数
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型号 |
SSB500/40 |
SSB500/50 |
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分辨率 |
2μm |
1μm |
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曝光光源 |
ghi-line/gh line/i-line mercury lamp |
ghi-line/gh line/i-line mercury lamp |
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硅片尺寸 |
200mm/300mm |
200mm/300mm |
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背面对准 |
可选 |
可选 |